微观形貌测量技术

本书涵盖了表面微观形貌测量的主要设计理论, 对微观形貌的光学测量方法 —— 相移干涉显微测量技术, 展开了全面的理论与实验研究论述。主要内容包括: 绪论 ; 相移干涉原理 ; 相移提取算法 ; 相位解包裹算法 ; 干涉显微测量 ; 微分相称干涉显微测量等。