• MEMS技术前沿与应用发展

    尤政, 赵嘉昊编著
  • 出版社/出版年:国防工业出版社/2019.10
  • ISBN/定价：978-7-118-11947-3/CNY188.00
  • 载体形态项：xiv, 348页, [8] 页图版 24cm
  • 个人责任者：尤政
  • 学科主题：微电机
  • 中图法分类号：TM38