• 硅片的超精密磨削理论与技术

    郭东明, 康仁科著
  • 出版社/出版年:电子工业出版社/2019.06
  • ISBN/定价：978-7-121-36300-9/CNY128.00
  • 载体形态项：240页, [9] 页图版 25cm
  • 个人责任者：郭东明,
  • 学科主题：硅
  • 中图法分类号：TN304.1