• Wafer fabrication-automated material handling systems

    Jie Zhang ... [等]
  • 出版社/出版年:华中科技大学出版社/2018.12
  • ISBN/定价：978-7-5680-4787-6/CNY88.00
  • 载体形态项：272页 25cm
  • 个人责任者：张洁
  • 学科主题：半导体工艺
  • 中图法分类号：TN305