纳米制造的基础研究

本书通过多学科交叉研究, 探索基于物理/化学效应的纳米制造新原理与新方法, 揭示纳米尺度与纳米精度下加工、成形、改性和跨尺度制造中的表面/界面效应、尺度效应等, 阐明物质结构演变机理, 建立纳米制造过程的表征与计量方法, 发展若干原创性纳米制造工艺与装备, 为实现纳米制造的一致性和批量化、提升我国纳米制造工艺与装备水平提供理论基础。